電鑄金屬模具：采用電鑄技術制作的金屬模具，可充當模板制作聚合物或玻璃芯片。模具線寬20μm以上可控，高度5μm以上可控。該模具成本較低，壽命在數百次以上，可滿足中試階段需求。

一、簡介

微加工的成本成為限制微流控芯片產業化的一大因素，注塑將成為解決這個問題的最優途徑。國內傳統的模具加工技術主要集中在100μm以上的模具結構，且誤差較大，汶顥自主研發的金屬模具，有望解決微流控芯片產業化的成本瓶頸。該金屬模具可以用來加工PMMA/PDMS/玻璃等材質芯片，結果如下：

圖為使用金屬芯片模板加工PDMS芯片、PMMA芯片產品圖

二、金屬模具/微電鑄模具優點

?能多次翻印PMMA/PDMS/玻璃芯片

?良好的表面結構

三、加工規格

金屬芯片模板的加工線寬不少于30um，加工高度不超過70um。

微模具是具有微米級圖案結構的特殊材料模具，是制造微流控芯片等生物芯片所必需的前產品。微模具以光刻為基礎加工技術，根據成型工藝和應用范圍的差別，我們提供硬質芯片模具產品。