產品名稱：

中科院微電子所KW-5型勻膠機

KW-5型勻膠機產品介紹：

KW型勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。

KW-5型勻膠機產品特點：
穩定的轉速和快速的啟動，能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。勻膠機配真空泵使用。　　
1、高頻調速，穩定性能更好，轉速調節以數字顯示為準。
2、轉速在1000～5000轉／分范圍內非常穩定。　　
3、采用雙轉速。在啟動之后，先以低速運轉，使膠攤開，然后自動變到高速運轉。兩種轉速及相應的時間分別可調，時間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。
4、具有定時功能。
5、測速采用光電的辦法，產生光電脈沖，由晶體分頻測速精度高。
6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作，適合流水線的工藝，提高了效率。　　
7、在安裝結構上，采取了減振措施，保證了在運轉時噪音很低，保證涂覆表面均勻，通過調節轉速調節涂覆厚度。
8、電源電壓：220V／50Hz　

KW-5型勻膠機規格參數：
1、調速范圍和勻膠時間　　
　Ⅰ檔　調速范圍：500-1000轉／分　　 Ⅰ檔　勻膠時間：2-18秒　　
　Ⅱ檔　調速范圍：1000-5000轉／分　　Ⅱ檔　勻膠時間：3-60秒
2、適用：Φ100-Φ200mm（4”～8”）硅片及其它材料等勻膠。　
3、LED數字顯示，轉速穩定度：±1％，膠的均勻性：±5％。　
4、電機功率：140W　　　
5、真空泵抽氣速率1升／分　　　
6、設備尺寸：500×500×460mm；變頻調速  最高轉速  5000轉/分
7、適用于:  4英寸-8英寸  樣片勻膠