該光敏玻璃采用連熔法生產(chǎn)，具有先進(jìn)的光敏性、均質(zhì)性。該玻璃一款技術(shù)光敏玻璃。該光敏玻璃經(jīng)過紫外曝光以及熱處理后會析出晶體，這些析晶區(qū)域在酸腐蝕之后可以形成高深寬比的細(xì)小結(jié)構(gòu)和通孔。再經(jīng)過二次曝光和熱處理，玻璃基體可以發(fā)生相變形成玻璃陶瓷，以此增強玻璃的機(jī)械性能。這些特性使光敏玻璃大量應(yīng)用在微流控（Microfluidics）、無線射頻（RF）元件和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）等領(lǐng)域。

光明玻璃晶圓的標(biāo)準(zhǔn)供應(yīng)尺寸包括直徑6英寸或8英寸的晶圓以200X200毫米方形基板，產(chǎn)品厚度則在0.5毫米—1毫米之間，另外可以根據(jù)客戶需求定制不同尺寸的玻璃片。

光敏玻璃具有一系列優(yōu)異特性，例如

1、 大于10:1的深寬比；

2、 最小35微米直徑的通孔（0.5mm厚度的玻璃）；

3、 最小45微米的間距；

4、大于30:1腐蝕速率（處理區(qū)和非處理區(qū)）；

5、垂直度大于88度；

6、 加工區(qū)域粗糙度小于3微米；

7、高度質(zhì)量均一性：先進(jìn)的熔制工藝確保光敏性均一且具高度重現(xiàn)性；

8、無需光刻膠即可制作微結(jié)構(gòu)；

9、極佳的透光特征（同時表現(xiàn)在可見區(qū)和非可見區(qū)）；

10、生物兼容性：耐溫，化學(xué)穩(wěn)定；

11、環(huán)境友好：符合EU-RoHS 和 EU-REACH規(guī)定；

12、光敏玻璃的切割和鍵合，基本可以沿用傳統(tǒng)的加工手段。

光敏玻璃不同尺寸的方孔加工結(jié)果

光敏玻璃不同尺寸的圓孔加工結(jié)果

采用光敏玻璃加工的復(fù)雜結(jié)構(gòu)

光敏玻璃加工結(jié)構(gòu)的表面粗糙度

可提供購買的型號

以上為標(biāo)準(zhǔn)尺寸，可以定做非標(biāo)尺寸，厚度0.5/0.7/1.0/1.3，外型可定制。