玻璃是和液體有類似性的非晶態(tài)固體，玻璃常作為光學(xué)器件，玻璃材質(zhì)得益于其化學(xué)耐受性、材質(zhì)透明方便觀察甚至可以在外圍進(jìn)行分析。玻璃微通道加工因?yàn)榛瘜W(xué)穩(wěn)定性和光學(xué)性能優(yōu)異是這杯微流道器件、光催化微反應(yīng)器的理想材料，廣泛應(yīng)用于傳統(tǒng)化學(xué)、生物領(lǐng)域。由于它在生物、化學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的巨大潛力，已經(jīng)發(fā)展成為一個生物、化學(xué)、醫(yī)學(xué)、流體、電子、材料、機(jī)械等學(xué)科交叉的嶄新研究領(lǐng)域。

采用玻璃精細(xì)加工制備的微流道器件、微反應(yīng)器具有化學(xué)穩(wěn)定性好無析出、耐腐蝕、容易進(jìn)行表面疏水疏油等表面特性處理；表面光滑流暢，所需驅(qū)動力小；玻璃透過率高，有利于觀察反應(yīng)的進(jìn)行 

玻璃化學(xué)耐受性

玻璃一般對水、鹽溶液、酸、有機(jī)物甚至堿都表現(xiàn)優(yōu)異。氫氟酸、強(qiáng)堿溶液和濃磷酸是僅有的對玻璃明顯有不利因素的化合物（特別是在高溫情況下）。

被潑了材料具有有機(jī)溶劑的耐受性、容易金屬沉積、優(yōu)良的導(dǎo)熱性、表面穩(wěn)定性、明確的表面化學(xué)性質(zhì)、卓越的耐高壓性、生物相容性、化學(xué)惰性、允許高效涂層特點(diǎn)。玻璃微流控芯片不透氣，并且具有相對低的非特異性吸附。因此它與生物樣品相兼容，但是不能用于長期細(xì)胞培養(yǎng)。玻璃微流控芯片的一大主要應(yīng)用是毛細(xì)管電泳。這種更便宜的方法對標(biāo)準(zhǔn)毛細(xì)管電泳更方便，因?yàn)樗菀讏?zhí)行并進(jìn)行分析，它還可以通過直接利用電滲透流提供無閥注射，在幾分鐘內(nèi)分離分析物。其他典型應(yīng)用包括片上反應(yīng)液滴形成、液滴萃取和原位制造。

玻璃微通道加工包括微通道的刻蝕、芯片切割打孔和芯片鍵合，可實(shí)現(xiàn)常用多種玻璃材料的微通道加工和鍵合，即可滿足科研用戶小量多次的科研要求，又可滿足微化工產(chǎn)業(yè)化用戶微通道反應(yīng)器工藝開發(fā)和生產(chǎn)的要求。

玻璃微通道特點(diǎn)

玻璃芯片具有透明可視性強(qiáng)，受使用環(huán)境影響較小，使用壽命較長，重復(fù)利用率高，但是玻璃比較容易磕碰碎裂，應(yīng)該避免類似人為損壞。

玻璃微流控芯片與陶瓷、硅片、石英等材質(zhì)相比具有強(qiáng)度高、絕緣性好、透光性高、散熱性高、電滲流強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。與有機(jī)玻璃或聚合物材料相比具有背景熒光小、通道表面易于修飾、熱變形小、生物兼容性好、親水性好等優(yōu)點(diǎn)。

常用玻璃材料

光刻結(jié)構(gòu)化特殊類型玻璃（可結(jié)構(gòu)化的光敏玻璃晶圓）中硼硅酸鹽玻璃、高硼硅玻璃、熔融石英玻璃是用來制作微反應(yīng)器的最重要材料。

鈉鈣玻璃（如：B270）：易于加工，刻蝕速度快，刻蝕質(zhì)量差，相對較低的溫度下粘結(jié)，玻璃自發(fā)熒光問題。

石英玻璃：紫外線紅外線透明，經(jīng)常使用溫度為1100-1200℃，短期使用溫度可達(dá)1400℃。

玻璃微通道芯片加工優(yōu)勢

可加工玻璃材質(zhì)：鈉鈣玻璃（即蘇打玻璃或綠玻璃），高硼硅玻璃（康寧、肖特）和石英玻璃。

微通道加工方式：濕法刻蝕、激光刻蝕和機(jī)械加工等。

玻璃微通道濕法腐蝕

鈉鈣玻璃濕法刻蝕：刻蝕深度5-500μm，誤差2%：條件：寬深比＞2；

高硼硅玻璃濕法刻蝕：刻蝕深度5-150μm，誤差2%：條件：寬深比＞2；

玻璃微通道機(jī)械加工（鈉鈣玻璃、高硼硅玻璃、石英等）：最大加工尺寸400*350mm,流道最小寬度700μm，深寬比≤3:1；誤差±0.03mm；最小打孔精度0.7mm；

玻璃一般分為鈉鈣、低硼、中硼、高硼。分類主要是從玻璃中三氧化二硼的含量多少來確定的。高硼料中硼含量一般12%以上。玻璃中硼含量的多少決定了玻璃熱膨脹系數(shù)的高低。膨脹系數(shù)越低，玻璃在收到溫度劇烈變化時承受能力越強(qiáng)。當(dāng)然其中還有另外的成分對膨脹系數(shù)有一定的影響，但是主要還是硼含量決定的。

微通道芯片清洗方法

硬質(zhì)芯片如玻璃芯片的清洗，如果芯片通道的表面沒有做涂層處理，可以使用NaOH（1mol/L）進(jìn)行清洗。如果芯片通道的表面做過涂層處理，就不可以使用高濃度的堿溶液或者酸溶液清洗，原因是酸或者堿溶液隨長時間的清洗會腐蝕到通道表面的涂層。此時，可以使用低密度的酸或堿溶液快讀的沖洗芯片通道，然后使用去離子水沖洗殘留的算或者堿溶液，最后，使用（空氣/氧氣/氮?dú)?氬氣/等）把芯片通道內(nèi)的液體吹干。

通常情況下，不同液體的清洗順序會在芯片通道的表面留下微弱的殘留痕跡，原因是不同的液體會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或不同的液體有不同的密度和粘度，交叉沖洗會遺留某些液體的 殘留痕跡。如果對這些殘留痕跡比較在意，可以先使用與實(shí)驗(yàn)用的試劑沖洗芯片通道，然后使用去離子水沖洗芯片通道，最后使用乙醇或者異丙醇（IPA）溶液沖洗芯片通道。如果有IPA溶液，最好是最后使用IPA沖洗芯片通道，因?yàn)镮PA發(fā)揮性較好，不會在芯片通道的表面留下液體痕跡。

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