光刻膠通常有三種成分：感光化合物、基體材料和溶劑。在感光化合物中有時還包括增感劑。

1、負(fù)性光刻膠

主要有聚肉桂酸系（聚酯膠）和環(huán)化橡膠系兩大類，前者以柯達(dá)公司的KPR為代表，后者以O(shè)MR系列為代表。

2、正性光刻膠

主要以重氮醌為感光化合物，以酚醛樹脂為基本材料。最常用的有AZ-1350系列。正膠的主要優(yōu)點是分辨率高，缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。

3、負(fù)性電子束光刻膠

為含有環(huán)氧基、乙烯基或環(huán)硫化物的聚合物。最常用的是COP膠，典型特性：靈敏度0.3~0.4μC/cm^2（加速電壓10KV時）、分辨率1.0μm、對比度0.95。限制分辨率的主要因素是光刻膠在顯影時的溶脹。

4、正性電子束光刻膠

主要為甲基丙烯甲酯、烯砜和重氮類這三種聚合物。最常用的是PMMA膠，典型特性：靈敏度40~80μC/cm^2（加速電壓20KV時）、分辨率0.1μm、對比度2~3。PMMA膠的主要優(yōu)點是分辨率高。主要缺點是靈敏度低，此外在高溫下易流動，耐干法刻蝕性差。