微流控芯片加工方法:干膜-PDMS轉(zhuǎn)印微流控芯片加工技術(shù)

將傳統(tǒng)的PCB電路板加工技術(shù)移植到微流控芯片的加工中，加工基于PDMS材質(zhì)的微流控芯片。包括貼光敏膜、曝光、顯影、PDMS倒模等工藝過程。其特點是加工成本低廉（干膜成本接近于0）且精度較高，最小尺寸為10-20?m。

干膜-PDMS轉(zhuǎn)印技術(shù)加工的微流控芯片（電滲流驅(qū)動微流控芯片，通道間距10?m）

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